财联社资讯获悉，新一批长江存储设备采购中，半导体设备国产化率大幅上升。北方华创的Cu互联PVD实现突破，14nm设备也获重大突破，中微公司获得长江存储9台刻蚀设备订单。另外，盛美、华海清科以及沈阳拓荆也纷纷获得半导体设备大单。

　　我国量测设备98%以上被KLA、应用材料、Nanometrics、HitachiHigh-Tech、ASML等垄断，国产化率不超过2%。日前，国家集成电路大基金成为上海睿励的第4大股东。上海睿励是我国首家晶圆制程量测设备供应商，膜厚量测设备产品已进入三星、长江存储、华力二期。中银国际分析指出，大基金再度出手投资制程设备供应商，表明大基金对设备与材料的支持力度正在增加。

　　根据各公司公告统计，大基金一期仅4.2%的资金投入到装备与材料，远低于半导体设备与材料的产业链地位。预计大基金二期将进一步丰富半导体设备的投资标的，并加大、提升对半导体设备的投资比例。叠加政策红利、景气周期、国产化，半导体设备行业迎来黄金发展时期。

　　A股上市公司中，长川科技主导产品为测试机、分选机和探针台等，在国内市场中产品体系较为完整，可覆盖晶圆制造、封测领域测试工序。精测电子与韩国IT&T合资设立的武汉精鸿电子主要聚焦自动检测设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备），目前已实现小批量的订单。

　 .财.联.社